Věda a výzkum       Vesmír       Osel       Chemagazín TOPlist CZ     EN       Kontakt
Laboratorní průvodce - na titulní stranu
Databáze:   Laboratorní přístroje        Firmy        Zastoupení        E-obchody        Novinky 
Hledání:  
 
Ostatní:       Nástroje        Encyklopedie        Tabulky 
Kalendář :   10.6.2021 - 12.6.2021 On-line: Konference Ecsite 2021
  15.6.2021 - 16.6.2021 ACHEMA Pulse
  28.6.2021 - 30.6.2021 SALIMA TECHNOLOGY
  7.9.2021 - 9.9.2021 LABVOLUTION - nový posunutý termín v roce 2021
  13.9.2021 - 17.9.2021 Mezinárodní strojírenský veletrh
Reklama
Nová technika pro charakterizaci topografie povrchu

Sensofar, technologická společnost specializující se na oblast bezkontaktní povrchové metrologie, vyvinula novou techniku pro charakterizaci vývoje povrchové topografie vzorku s teplotou pomocí 3D optického profilu S neox a interferometru Linnik ve spojení s teplotně řízenou komorou Linkam LTS420. Tato technika byla použita k úspěšnému mapování změn drsnosti a zvlnění křemíkových destiček při teplotách do 380 °C.

Datum: 18.5.2021

optická profilometrie povrchu


 

Sdílet na Facebooku   Odeslat na Twitter

Optická profilometrie je rychlá, nedestruktivní a bezkontaktní povrchová metrologická technika, která se používá ke stanovení morfologie povrchu, výšek kroků a drsnosti povrchu materiálů. Má širokou škálu aplikací napříč mnoha oblastmi výzkumu, včetně analýzy povrchové textury barev a povlaků, analýzy mikrotrhlin a škrábanců a vytváření profilů opotřebení pro strukturované materiály včetně mikroelektroniky a charakterizaci texturované nebo reliéfní nanometrické stupnice polovodičové součásti, jako jsou křemíkové destičky.

Historicky bylo obtížné provádět teplotně řízené optické profilometrické experimenty kvůli problémům se zobrazováním způsobeným změnami sférické aberace s teplotou jak přední čočky objektivu, tak křemenného okénka stolku LTS420.

Použitím nového systému čoček interferometru Linso společnosti Sensofar s optickým profilem S neox 3D v kombinaci s komorou přesné regulace teploty LTS420 společnosti Linkam byly vyřešeny problémy s sférickými aberacemi, které umožňují přesné měření 3D topografických profilů materiálů v nanoměřítku při širokém rozsahu teplot.

David Páez, specialista podpory prodeje Sensofar, uvedl: „V nedávném experimentu s novou technikou jsme byli schopni pozorovat změny v topografii křemíkových destiček, které se vyvíjejí s teplotou od 20 °C do 380 °C. Toto jsou důležité informace pro výrobce a uživatele křemíkových destiček, aby mohli optimalizovat svůj proces, zlepšit vlastnosti polovodičů a trvanlivost destiček. Komora Linkam LTS420 a regulátor teploty T96 jsou klíčovými součástmi našeho experimentálního nastavení a umožňují nám zvyšovat a regulovat teplotu mezi -195 °C a 420 °C s přesností 0,01 °C. “

Robert Gurney, aplikační specialista společnosti Linkam, dodal: „Po celá desetiletí poskytujeme přesnou kontrolu teploty a prostředí širokému spektru technik, od mikroskopie až po rentgenovou analýzu. Tato spolupráce zdůrazňuje důležitou roli regulace teploty při přispívání k inovativním přístupům k charakterizaci materiálů. Jsme nesmírně potěšeni, že můžeme nabídnout řešení pro profilometrii s řízenou teplotou díky lineárnímu interferometru Sensofar a těšíme se, až tato nová technika pomůže vědcům z mnoha vědeckých oborů pokročit v jejich výzkumu a znalostech.“

3D optický profiler Sensofar S neox 3D je nejrychlejším konfokálním profilometrem na trhu. Jeho použití je snadné a oproti předchozím modelům má některé klíčové výhody. Konstrukce můstku nabízí zvýšenou stabilitu a hlava snímače využívá vylepšené algoritmy k výrobě nejrychlejšího systému na trhu bez pohyblivých částí, a tedy s minimálními požadavky na servis nebo s nutností rozsáhlé kalibrace. Přidání lineárního interferometru a Linkamu LTS420 umožňuje regulaci teploty <-195 °C až 420 °C. S konfigurací Linnik jsou kompatibilní různé objektivy světlého pole, které nabízejí pracovní vzdálenosti až 37 mm a zvětšení až 100x pro aplikace, které vyžadují vysoké boční rozlišení.

Linkam LTS420 je snadno použitelný a velmi univerzální ohřívací a mrazicí stupeň. Stolek se skládá z velkoplošného teplotně řízeného prvku se senzorem zabudovaným blízko povrchu pro přesné měření teploty v rozsahu <-195 °C až 420 °C (při použití s chladicím čerpadlem LNP96). Vzorek lze snadno namontovat na standardní mikroskopické sklíčko v přímém kontaktu s topným tělesem a lze s ním manipulovat 15 mm ve směru X i Y. Vzorkovací komora je plynotěsná a má ventily umožňující řízení složení atmosféry. K dispozici jsou možnosti pro vlhkostní a elektrické sondy.


Zdrojem informací je Labbulletin.
Kredit obrázku: Linkam Scientific Instruments Limited

Pro kompletní informace si přečtěte  celý článek.

 

Reklama

Reklama