Přístroje IonTamer jsou analyzátory zbytkových plynů s časovým průletem (TOF-RGA) pro analýzu plynů.

Přístroje IonTamer měří nepřetržitě a poskytují kalibrovaná hmotnostní spektra v celém rozsahu hmotností (1 - 1200 u/e) až 10krát za sekundu. Data jsou prostřednictvím ethernetového rozhraní přenášena do uživatelského softwaru společnosti Spacetek Technology nebo do systému řízení procesů zákazníka. Tento výkon otevírá nebývalé možnosti řízení procesů a optimalizace výtěžnosti a spolehlivosti.

Přístroje IonTamer jako vysoce výkonné analyzátory zbytkových plynů detekují a monitorují kontaminanty ve vakuových systémech používaných v průmyslové výrobě i ve výzkumu a vývoji. Zabezpečují výrobu a zvyšují kvalitu výrobků tím, že detekují přechodné odchylky od jmenovitých hodnot. Přístroje IonTamer identifikují kontaminanty a usnadňují lokalizaci a opravu poruch.

Všechny materiály použité v přístrojích IonTamer jsou kompatibilní s aplikacemi v náročných průmyslových odvětvích, jako je např. polovodičový průmysl.
(detaily jsou v angličtině)

Datum: 5.1.2023

analyzátory TOF-RGA