Nepřetržité a dlouhodobé monitorování prostředí v místnosti pro elektronové mikroskopy

Společnost Spicer Consulting Limited - lídr v oblasti systémů detekce a rušení magnetických polí - s potěšením představuje svůj nový monitorovací systém SC28. Systém SC28 umožňuje dlouhodobé a nepřetržité monitorování magnetických polí, vibrací a akustiky - stejně jako teploty a vlhkosti - v laboratoři a továrně na výrobu polovodičů.

Tento systém je účelově navržen pro sledování prostředí pro přístroje s elektronovým svazkem, včetně skenovacích elektronových mikroskopů (SEM), transmisních elektronových mikroskopů (TEM), nástrojů pro litografii elektronovým svazkem a metrologických a kontrolních aplikací založených na SEM.
(detaily jsou v angličtině)

Datum: 21.10.2021

detekce rušivých vlivů u elektronové mikroskopie